Cảm biến gia tốc MEMS kiểu tụ: So sánh kết quả mô phỏng và thực nghiệm

Chỉ số đề mục

50.09.37

Lĩnh vực nghiên cứu

Người máy và điều khiển tự động

Dạng tài liệu

Tác giả

Trần Đức Tân, Nguyễn Phú Thuỳ, Chử Đức Trình⁽¹⁾, Nguyễn Thăng Long, Vũ Ngọc Hùng

Nhan đề

Cảm biến gia tốc MEMS kiểu tụ: So sánh kết quả mô phỏng và thực nghiệm

Nhan đề tiếng anh

Nguồn trích

Tuyển tập các báo cáo khoa học: Hội nghị toàn quốc lần thứ VI về tự động hoá

Năm xuất bản

2005

Số

0

Trang

465-470

ISSN

Từ khóa

Cảm biến gia tốc

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Đề cập đến việc thiết kế, chế tạo và đo chuẩn các cảm biến gia tốc kiểu tụ. Khảo sát mô hình năng lượng để phân tích nguyên tắc hoạt động của cảm biến. Phần cuối cùng trình bày kết quả so sánh giữa mô phỏng và thực nghiệm đồng thời đưa ra một số hướng nghiên cứu tiếp t heo.

Tóm tắt tiếng anh

Kí hiệu kho

TTKHCNQG, Vt 92/2006

File toàn văn

Xem toàn văn