Nghiên cứu chế tạo cảm biến màng mỏng WO3 ứng dụng đo khí C2H5OH

Chỉ số đề mục

Lĩnh vực nghiên cứu

Kỹ thuật điện và điện tử

Dạng tài liệu

Tác giả

Nguyễn Văn Toán⁽¹⁾, Nguyễn Văn Hiếu

Nhan đề

Nghiên cứu chế tạo cảm biến màng mỏng WO3 ứng dụng đo khí C2H5OH

Nhan đề tiếng anh

Nguồn trích

Khoa học và Công nghệ các trường Đại học Kỹ thuật

Năm xuất bản

2019

Số

133

Trang

53-57

ISSN

2354-1083

Từ khóa

Nghiên cứu, Chế tạo, Cảm biến, Màng mỏng WO3, Đo khí, C2H5OH

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Giới thiệu một số kết quả nghiên cứu ban đầu về việc chế tạo cảm biến khí C2H5OH trên cơ sở màng mỏng WO3 bằng phương pháp phún xạ cathode kết hợp với kỹ thuật quang khắc. Hình thái bề mặt, vi cấu trúc của lớp nhạy khí và tính chất nhạy khí C2H5OH ở các nhiệt độ khác nhau của cảm biến cũng được nghiên cứu một cách hệ thống.

Tóm tắt tiếng anh

Kí hiệu kho

TTKHCNQG, CTv 140

File toàn văn

Xem toàn văn