Xây dựng module phần mềm thiết kế cảm biến gia tốc vi cơ điện tử kiểu tụ

Chỉ số đề mục

50.09.37

Lĩnh vực nghiên cứu

Người máy và điều khiển tự động

Dạng tài liệu

Tác giả

Trần Đức Tân, Nguyễn Phú Thùy, Lê Phương Lan⁽¹⁾

Nhan đề

Xây dựng module phần mềm thiết kế cảm biến gia tốc vi cơ điện tử kiểu tụ

Nhan đề tiếng anh

Nguồn trích

Tự động hóa ngày nay

Năm xuất bản

2006

Số

7

Trang

17-18

ISSN

1859-0551

Từ khóa

Cảm biến gia tốc, Cảm biến vi cơ điện tử, Modul phần mềm, Vi cơ khối, Vi cơ bề mặt

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Trình bày về một module phần mềm cho phép thiết kế cảm biến gia tốc kiểu tụ được chế tạo trên công nghệ vi cơ khối và vi cơ bề mặt. Module phần mềm có giao diện thân thiện, phù hợp với người sử dụng là những người thiết kế, sinh viên, các nhà chế tạo cảm biến và những người quan tâm đến mô phỏng và thiết kế các cấu trúc MEMS.

Tóm tắt tiếng anh

Kí hiệu kho

TTKHCNQG, CVv 227

File toàn văn

Xem toàn văn