Mô phỏng cảm biến sóng âm bề mặt đo từ trường sử dụng mô hình ma trận truyền kết hợp với mô phỏng FEM

Chỉ số đề mục

Lĩnh vực nghiên cứu

Khoa học kỹ thuật và công nghệ

Dạng tài liệu

BB

Tác giả

Đỗ Duy Phú, Nguyễn Văn Tuấn, Lê Văn Vinh⁽¹⁾, Hoàng Sĩ Hồng

Nhan đề

Mô phỏng cảm biến sóng âm bề mặt đo từ trường sử dụng mô hình ma trận truyền kết hợp với mô phỏng FEM

Nhan đề tiếng anh

Simulation of the SAW sensor measuring magnetic fields using the transmission matrix model combined with FEM simulations

Nguồn trích

Chuyên san Đo lường, Điều khiển và Tự động hóa

Năm xuất bản

2024

Số

2

Trang

59-65

ISSN

Từ khóa

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Nghiên cứu này đề xuất mô hình ma trận truyền [ABCD] cholớp nhạy từ FeNi dùng trong cảm biến từ dạng sóng âm bềmặt (SAW-MO). Tần số trung tâm và kích thích tín hiệu đođến đầu vào cho cảm biến thông qua đặc tính vm-H được xácđịnh bằng phương pháp mô phỏng phần tử hữu hạn (FEM)trên cấu trúc FeNi/IDT/ST-Quartz. Kết quả mô phỏng tần sốtrung tâm và đáp ứng làm việc của cảm biến cho thấy môphỏng theo phương pháp FEM và mô phỏng theo phươngpháp ma trận truyền (TM) là có sự tương quan. Vì vậy, môhình ma trận truyền [ABCD] đã đề xuất cho lớp nhạy từ FeNilà đúng đắn và phù hợp. Bên cạnh đó, khảo sát cũng chỉ ra sựhợp lý và phù hợp hơn của đường đặc tính vm-H bậc ba so vớiđặc tính bậc hai trong mô hình ma trận truyền của lớp nhạy từFeNi. Độ chính xác và sự phù hợp được thể hiện thông qua xuthế và hình dáng trên đáp ứng làm việc của cảm biến.

Tóm tắt tiếng anh

This study proposes the transmission matrix model [ABCD] for the FeNi magnetic sensitive layer used in surface acoustic wave magnetic(SAW-MO) sensors. The center frequency and input excitation to the sensor through the vm-H characteristic are determined by finite elementsimulation (FEM) on the FeNi/IDT/ST-Quartz structure. The simulation results of the center frequency and sensor's working response showthat simulations by the FEM method and simulations by the transmission matrix (TM) method are correlated. Furthermore, the survey alsoindicates the more reasonable and suitable of the third-order vm-H characteristic curve compared to the second-order characteristic in thetransmission matrix model of the FeNi magnetic sensitivity layer. These accuracy and suitability are expressed through the trend and shapeof the sensor's working response.

Kí hiệu kho

File toàn văn

Xem toàn văn