43.37.31

Vũ Ngọc Hùng⁽¹⁾, Nguyễn Văn Minh, Lê Văn Minh, Trịnh Quang Thông, Dzung Viet Dao

Nghiên cứu chế tạo cảm biến gia tốc ba bậc tự do kích thước thu nhỏ trên cơ sở công nghệ vi cơ khối sử dụng kỹ thuật ăn mòn khô drie

Tuyển tập các báo cáo: Hội nghị Vật lý chất rắn toàn quốc lần thứ 5 - Hội Vật lý Việt Nam

2007

0

1000-1004

Nghiên cứu, Chế tạo, Cảm biến gia tốc, Ba bậc tự do, Kích thước thu nhỏ, Công nghệ vi sơ, Kỹ thuật ăn mòn

TTKHCNQG, Vđ 456/2009