61.99; 59.14

Vũ Ngọc Hùng⁽¹⁾, Lê Văn Minh, Nguyễn Văn Minh, Trịnh Quang Thông

Chế tạo cảm biến áp suất và gia tốc thu nhỏ bằng công nghệ ăn mòn Ion hoạt hóa

Vật liệu mới: Khoa học, công nghệ và ứng dụng (Kỷ yếu hội thảo khoa học)

2009

00

254-259

1859-1868

Cảm biến áp suất và gia tốc, Chế tạo, Công nghệ ăn mòn, Ion hoạt hóa

TT KHCNQG, Vd 836-2011