55.20.23

Kỹ thuật cơ khí

Trần Văn Đua, Phạm Đức Cường, Đào Duy Trung⁽¹⁾, Đào Huy Hoàng

Khảo sát hình thái học và độ khám tế vi của lớp màng cứng CrN chế tạo bằng phương pháp lắng đọng vật lý từ pha hơi trong môi trường chân không

Khoa học & Công nghệ

2014

22

10-15

1859-3585

Khảo sát, Hình thái học, Tế vi, Màng cứng, CrN, Phương pháp, Vật lý, Môi trường, Chân không

,

TTKHCNQG, CVt70