Nghiên cứu chế tạo sensor màng mỏng ôxit nhôm dùng để đo độ ẩm môi trường

Chỉ số đề mục

81.09

Lĩnh vực nghiên cứu

Kỹ thuật vật liệu và luyện kim

Dạng tài liệu

Tác giả

Nguyễn Thị Thu Hà, Lê Hoàng Mai, Đào Khắc An, Phan Việt Phong, Mai Thanh Lan⁽¹⁾

Nhan đề

Nghiên cứu chế tạo sensor màng mỏng ôxit nhôm dùng để đo độ ẩm môi trường

Nhan đề tiếng anh

Fabrication of thin film aluminum-oxide sensor for measurement of humidity environment

Nguồn trích

TC Khoa học và công nghệ

Năm xuất bản

1994

Số

Trang

19-33

ISSN

0866-708X

Từ khóa

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Tóm tắt tiếng anh

Kí hiệu kho

TTTTKHCNQG, CVv 5

File toàn văn

Xem toàn văn