29.19.31

Vật lý

Nguyễn Đức Dũng, Ngô Thị Thanh Tâm, Nguyễn Ngọc Khoái, Phan Ngọc Hồng, Phan Ngọc Minh, Trần Viết Thắng⁽¹⁾

Kết quả bước đầu nghiên cứu công nghệ chế tạo cửa sổ kim cương trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng

Tuyển tập các báo cáo: Hội nghị Vật lý chất rắn toàn quốc lần thứ 5 - Hội Vật lý Việt Nam

2007

0

684-686

Nghiên cứu, Công nghệ chế tạo, Cửa sổ kim cương, Đế Si, Phương pháp lắng đọng, Hóa học, Plasma vi sóng

TTKHCNQG, Vđ 456/2009