29.19

Vật lý

Nguyễn Đức Chiến, Vũ Ngọc Hùng⁽¹⁾, Trần Viết Lực

Nghiên cứu công nghệ chế tạo màng mỏng Al2O3 trên đế Si bằng phương pháp anode hóa

TB Khoa học của các trường đại học: Vật lý (Bộ giáo dục và đào tạo)

1995

108-113

0868-3034

Màng mỏng Al2O3, Công nghệ anode hóa màng nhôm, Cảm biến ion

TTTTKHCNQG