ảnh hưởng của nồng độ pha tạp Mn lên chất lượng mẫu màng mỏng Al1-xMnxN chế tạo bằng phún xạ catôt xoay chiều

Chỉ số đề mục

29.19.31

Lĩnh vực nghiên cứu

Vật lý

Dạng tài liệu

Tác giả

Phạm Hồng Quang, Trần Hoài Thanh, Ngô Đình Sáng, Trần Trúc Thanh⁽¹⁾

Nhan đề

ảnh hưởng của nồng độ pha tạp Mn lên chất lượng mẫu màng mỏng Al1-xMnxN chế tạo bằng phún xạ catôt xoay chiều

Nhan đề tiếng anh

Nguồn trích

Tuyển tập các báo cáo: Hội nghị Vật lý chất rắn toàn quốc lần thứ 5 - Hội Vật lý Việt Nam

Năm xuất bản

2007

Số

0

Trang

247-249

ISSN

Từ khóa

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Tóm tắt tiếng anh

Kí hiệu kho

TTKHCNQG, Vđ 456/2009

File toàn văn

Xem toàn văn