55.22.21

Kỹ thuật cơ khí

Trần Đình Tường, Nguyễn Anh Tuấn, Bùi Thị Thủy⁽¹⁾

Nghiên cứu quan hệ chế độ làm sạch và độ bền bám các màng bảo vệ

TB Khoa học của các trường Đại học: Cơ khí (Bộ Giáo dục và đào tạo)

1995

90-93

0868-3034

Màng bảo vệ MgF2, Công nghệ chế tạo màng, Màng bảo vệ SiO, Công nghệ làm sạch bề mặt

TTTTKHCNQG