Trong bài báo này chúng tôi trình bày về thực nghiệm xây dựng hệ đo cảm biến pha lỏng và pha hơi dựa trên buồng vi cộng hưởng 1D làm bằng silic xốp, so sánh các kết quả thu được thông qua phép đo một số dung môi thông dụng như ethanol, methanol. Nếu định nghĩa giới hạn phát hiện (LOD- Limit of Detection) là nồng độ nhỏ nhất của chất cần phân tích mà phương pháp phân tích có thể phát hiện được. Giá trị giới hạn phát hiện (LOD) được tính bằng tỷ số giữa độ phân giải của hệ đo và độ nhạy của cảm biến. Các giá trị LOD đối với cảm biến pha lỏng và pha hơi do chúng tôi chế tạo trong phép đo xác định nồng độ ethanol trong nước lần lượt tương ứng là 0,3% và 0,04%. Giá trị LOD đối với cảm biến pha hơi đối với mẫu cảm biến chúng tôi chế tạo dùng để đo nồng độ methanol trong rượu thương mại là 0,06% và 0,04% tương ứng với hai nhiệt độ 55oC , 60oC và vận tốc dòng khí được giữ không đổi là V = 6 l/h. Như vậy, mẫu cảm biến mà chúng tôi chế tạo được thỏa mãn điều kiện có thể xác định nồng độ rất thấp của ethanol trong nước, xác định nồng độ methanol có trong rượu thương mại với LOD đạt ngưỡng an toàn thực phẩm là 0.1%.