Mô hình hoá và mô phỏng quá trình tạo màng Al2O3 bằng phun xạ Magnetron

Công bố khoa học và công nghệ Việt Nam

Chỉ số đề mục

55.22.21

Lĩnh vực nghiên cứu

Kỹ thuật cơ khí

Dạng tài liệu

Tác giả

Lê Vũ Tuấn Hùng⁽¹⁾, Huỳnh Thành Đạt, Nguyễn Văn Đến

Nhan đề

Mô hình hoá và mô phỏng quá trình tạo màng Al2O3 bằng phun xạ Magnetron

Nhan đề tiếng anh

Nguồn trích

TC phát triển khoa học - công nghệ

Năm xuất bản

2007

Số

3

Trang

12-19

ISSN

1859-0128

Từ khóa

Gia công bề mặt, Phủ bằng kim loại, Tạo màng oxyt nhôm, Phun xạ maghetron

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Tóm tắt tiếng anh

Kí hiệu kho

TTKHCNQG, CTv 149

File toàn văn

Xem toàn văn