47.13

Kỹ thuật điện và điện tử

Dư Thành Trí, Nguyễn Đức Chiến, Phan Hồng Khôi, Trần Trung Hiếu⁽¹⁾

Xác định chiều dày lớp SiO2 mỏng bằng ellipsometry và phương pháp đo điện dung điện áp

Hội nghị Khoa học Đại học Mỏ - Địa chất lần thứ 13

1998

6

22-26

Vật liệu bán dẫn, Lớp silic, Phương pháp điện dung điện áp, Đo chiều dày

TTKHCNQG, Vd1197-2005