Công nghệ vi điện tử từ phiến silicon đến chíp thành phẩm

Công bố khoa học và công nghệ Việt Nam

Chỉ số đề mục

47.33.31; 47.13.17

Lĩnh vực nghiên cứu

Kỹ thuật điện và điện tử

Dạng tài liệu

Tác giả

Mai Tùy Phong, Nguyễn Hồng Quân⁽¹⁾

Nhan đề

Công nghệ vi điện tử từ phiến silicon đến chíp thành phẩm

Nhan đề tiếng anh

Nguồn trích

Tự động hóa ngày nay

Năm xuất bản

2007

Số

4

Trang

19-21

ISSN

1859-0551

Từ khóa

Vi điện tử, Silicon, Chip

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Tóm tắt tiếng anh

Kí hiệu kho

TTKHCNQG, CVv 227

File toàn văn

Xem toàn văn