Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian

Công bố khoa học và công nghệ Việt Nam

Chỉ số đề mục

50.09.37

Lĩnh vực nghiên cứu

Người máy và điều khiển tự động

Dạng tài liệu

Tác giả

Thanh Huyền, Phạm Quang Vinh⁽¹⁾

Nhan đề

Cảm biến áp suất MEMS silicon cho không gian

Nhan đề tiếng anh

Nguồn trích

Tự động hóa ngày nay

Năm xuất bản

2010

Số

115

Trang

40-42

ISSN

1859-0551

Từ khóa

Cảm biến áp suất, Không gian, Chế tạo, Công nghệ, Tín hiệu

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Tóm tắt tiếng anh

Kí hiệu kho

TTKHCNQG, CVv 227

File toàn văn

Xem toàn văn