29.19.31

103 - Vật lý

Đinh Công Trường⁽¹⁾, Nguyễn Hữu Chí, Vũ Thị Hạnh Thu⁽²⁾, Lê Đình Minh Trí, Dương Chánh Nhân, Trần Tuấn

Nghiên cứu chế tạo màng TiO2-xNx bằng phương pháp phún xạ phản ứng Magnetron không cân bằng được

Tuyển tập các báo cáo: Hội nghị Vật lý chất rắn toàn quốc lần thứ 5 - Hội Vật lý Việt Nam

2007

0

695-698

Nghiên cứu, Chế tạo, Màng TiO2-xNx, Phương pháp phún xạ, Phản ứng manhêton

TTKHCNQG, Vđ 456/2009