Thông tin nhà nghiên cứu KH&CN

Kênh dẫn sóng plasmon khe hẹp lai tùy biến với kênh kim loại được bảo vệ trong môi trường hoạt động

Kênh dẫn sóng plasmon tùy biến chiều dài truyền

Hệ thống vi thấu kính tùy biến nhiều bậc tự do dựa trên chấp hành tĩnh điện

Nghiên cứu tự động hóa quá trình đo đặc trưng cảm biến áp suất kiểu điện áp điện trở

Cơ cấu bao gồm hệ thống lò xo đàn hồi vi cơ cho chuyển động thẳng đứng và bộ chấp hành tĩnh điện

Hệ thống kênh dẫn sóng đa chức năng

Phương pháp chế tạo các linh kiện quang dựa trên kỹ thuật ăn mòn tạo khuôn

Cấu trúc nano plasmonic: Chế tạo, đặc trưng và ứng dụng

Cảm biến và vi chấp hành vi hệ thống cơ – quang – điện tử (Sách)

MEMS áp điện: Vật liệu và Linh kiện (Sách)

Low ohmic loss hybrid gap plasmonic waveguide with miniaturized metal-dielectric interface

Kênh dẫn sóng plasmon gáp lai tùy biến với các thành phần kết cặp nằm ngang

Characteristics of silicon nano-pillars fabricated by nano-sphere lithography and metal assisted chemical etching

Performance analysis of serpentine springs compliant to out-of-plane oscillation

Factors affecting fabrication of silicon nanopillars using silica nanoparticle lithography and metal-assisted chemical etching

Triple-wavelength filter based on the nanoplasmonic metal-insulator-metal waveguides

Competition between heating and cooling effects in an optomechanical oscillator using a squeezed field

Design and simulation analysis of an integrated XYZ micro-actuator for controlling displacement of scanning probe

Models for analyzing squeeze film air damping depending on oscillation modes of micro/nano beam resonators

Effects of annealing temperature on the structure, morphology, and photocatalytic properties of SnO2/rGO nanocomposites

Hệ thống khắc và in mẫu 3 chiều kích thước nano

Design and simulation analysis of a z axis microactuator with low mode cross-talk

Theoretical study on the optimal thermal excitation of bimaterial cantilevers

Design and Simulation of Scanning Probe Micro-Cantilever for the Scanning probe lithography

Tuning SPP propagation length of hybrid plasmonic waveguide by manipulating evanescent field

Optical properties of silicon nanostructure fabricated by chemical etching

Simulation study of plasmonic substrate based on semispheric dipole nanostructures

Design and simulation of two-dimensional microstage for scanning probes

Fabrication of silicon nanopillars by metal assisted chemical etching

Fabrication of Scanning Nano-Probe Based on Photolithography and Wet Chemical Etching

Effect of Operation Medium on Plasmonic Wave Guiding characteristics of Ag, Au and Al metals

Modal characteristics and the tunability of horizontal hybrid gap plasmonic waveguide

Kênh dẫn sóng plasmon lai tùy biến chiều dài truyền

Quy trình chế tạo kênh dẫn sóng plasmon dạng kênh

Kênh dẫn sóng plasmon lai

A two degrees of freedom comb capacitive-type accelerometer with low cross-axis sensitivity

HỆ ĐO ĐẶC TRƯNG ĐIỆN CỦA VI CẢM BIẾN VẬN TỐC GÓC KIỂU TUNING FORK

Design and simulation analysis of an electrostatic actuator for improving the performance of scanning probe nanolithography

THERMOELASTIC DAMPING DEPENDING ON VIBRATION MODES OFNANO BEAM RESONATOR

Phương pháp chế tạo Kênh dẫn sóng plasmonic lai

Enhancing Propagation Length of Surface Plasmon Polaritons by Using Metallic Double-Layer Structure

A Mechanical Beam Resonator Engineered at Nanoscale for Ultralow Thermoelastic Damping

Tunable hybrid gap surface plasmon polariton waveguides with ultralow loss deep-subwavelength propagation

Wedge Surface Plasmon Polariton Waveguides Based on Wet-Bulk Micromachining

Z-axis tuning fork gyroscope having a controlled anti-phase and freestanding architecture: design and fabrication

Hydrothermal synthesis, structure, and photocatalytic properties of SnO2/rGO nanocomposites with different GO concentrations

Wafer-level vacuum package of two-dimensional micro-scanner

Close-Packed Monolayer Self-Assembly of Silica Nanospheres Assisted by Infrared Irradiation

Optimal coating thickness for enhancement of optical effects in optical multilayer-based metrologies

Enhancing amplitudes of higher-order eigenmodes of atomic force microscope cantilevers by laser for better mass sensing

Non-close packaged monolayer of silica nanoparticles on silicon substrate using HF vapor etching

Z-Axis Micromachined Tuning Fork Gyroscope with Low Air Damping

Wedge Mode Propagation Characteristics of Triangular–shaped Surface Plasmon Waveguide

Air damping models for micro- and nano-mechanical beam resonators in molecular-flow regime

25 nm Single-Crystal Silicon Nanowires Fabricated by Anisotropic Wet Etching

Design, fabrication and characterization of an optical add-drop filter using silicon micro-ring resonator

Micro-electromechanical Tunable Silicon Micro-Ring Resonators

Compact Electromechanical Tunable Micro-Ring Resonator Add-Drop Filter

Multi-Channel Microelectromechanical Tunable Micro-Ring Resonator Filter

A Study of Mems In-Plane Tuning Fork Gyroscope Having Freestanding Structure

Tunable Optical Micro-Ring Resonators

Design and Fabrication of a Silicon Ring Resonator for Tuning Wavelength and Transmission-Width

Study, Fabrication and Applications of Piezoelectric MEMS Sensors

Thermoelastic Damping in Silicon Nanowire Resonators

A Comparative Analysis on Air Damping in Nanowire Resonators with Different Cross-Section Geometry

Effect of coupling to optical characteristics of micro-resonator

Fabrication of Single-Crystal Silicon Nanowires Based on Wet Bulk-Micromachining Technology

Dynamic response of silicon photonic variable-gap waveguide coupler switch

Simulation Analysis on Thermoelastic Damping in Silicon Nanowire Resonators Operating at Ultra-high Frequency

Design And Simulation Of Freestanding Mems Tuning Fork Gyroscope Having Sensitivity Improved By Reducing Air Friction

Design and Analysis of an Integrated 3-DOF Sensor for Tracking in-Plane Motion

Optical Modulator Based on MEM-Tunable Silicon Photonic Micro-Ring Resonator

Improving the sensitivity of Z-Axis Tuning Fork Gyroscope by Optimizing Its Structure

Fabrication of single-crystal silicon nanowires based on surface wet adhesion

Micromirrors connected in series for low voltage operation in vacuum

A Wide-Tuning Silicon Ring-Resonator Composed of Coupled Freestanding Waveguides

Time Response of a Microelectromechanical Silicon Photonic Waveguide Coupler Switch

Vacuum Package Using Anodic Bonding Assisted by the Reflow of Low-Melting Temperature Metal

Design and analysis of a z‑axis tuning fork gyroscope with guided‑mechanical coupling

Micromachined Z-Axis Accelerometer with Switched-Capacitor Readout Intagrated Circuit

Design and Fabrication of an Enhanced Sensitivity Tuning Fork Micro-Gyroscope

Improvement of vacuum package yield for MEMS devices using reflow of low-melting temperature metal in anodic bonding

A dual axis differential capacitive accelerometer with low off-axis sensitivity

Capacitive Type Z-Axis Accelerometer Fabricated By SOI-MEMS Technology

Low Voltage Operation of Vertical Electrostatic Comb Drive Micro Display Mirror

Capacitive Type Z-Axis Accelerometer Fabricated By Silicon-On-Insulator micromaching

Electric Feed-through for Vacuum Package Using Double-Side Anodic Bonding of Silicon-On-Insulator Wafer

Low Voltage Operation Electrostatic Comb Drive Micro-mirror for Laser Scanning Display

Compact slanted comb two-axis micro-mirror scanner fabricated by silicon-on-insulator micromachining

Design, fabrication and vacuum operation characteristics of two-dimensional comb-drive micro-scanner

Compact low-voltage operation micro-mirror based on high vacuum seal technology using metal can

Vacuum operation of comb-drive micro display-mirrors

Nghiên cứu thiết kế chế tạo con quay vi cơ kiểu âm thoa hệ số phẩm chất Q cao cho hoạt động trong môi trường không khí

Nghiên cứu chế tạo dây nano silíc đơn tinh thể và linh kiện cộng hưởng hệ số phẩm chất cao trên cơ sở công nghệ vi cơ khối ướt cho ứng dụng trong các hệ thống nano

Nghiên cứu thiết kế chế tạo và khảo sát đặc trưng hoạt động của kênh dẫn sóng plasmon bề mặt định hướng ứng dụng trong mạch quang tích hợp

Nghiên cứu thiết kế và chế tạo đế plasmonic dựa trên đơn lớp hạt nano silica tự tập hợp

Nghiên cứu thiết kế chế tạo và khảo sát đặc trưng hoạt động của kênh dẫn sóng plasmon bề mặt định hướng ứng dụng trong mạch quang tích hợp

Nghiên cứu thiết kế chế tạo con quay vi cơ kiểu âm thoa hệ số phẩm chất Q cao cho hoạt động trong môi trường không khí

Nghiên cứu chế tạo dây nano silíc đơn tinh thể và linh kiện cộng hưởng hệ số phẩm chất cao trên cơ sở công nghệ vi cơ khối ướt cho ứng dụng trong các hệ thống nano

Các Mạch Quang Điều Biến MEMS Công Suất Siêu Thấp Sử Dụng Các Kênh Dẫn Sóng Nano Silíc

Nghiên cứu cải thiện hiệu suất pin mặt trời dựa trên cấu trúc nano

Khảo sát đặc trưng hoạt động trong chân không của vi gương được lái tĩnh điện

Phát triển và đóng gói chân không vi gương cho quét hình ảnh bằng tia laze

Nghiên cứu cải thiện hiệu suất pin mặt trời dựa trên cấu trúc nano

Phát triển và đóng gói chân không vi gương cho quét hình ảnh bằng tia laze

Các Mạch Quang Điều Biến MEMS Công Suất Siêu Thấp Sử Dụng Các Kênh Dẫn Sóng Nano Silíc

Khảo sát đặc trưng hoạt động trong chân không của vi gương được lái tĩnh điện

Nghiên cứu thiết kế và chế tạo đế plasmonic dựa trên đơn lớp hạt nano silica tự tập hợp