Nghiên cứu chế tạo màng TiN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC

Chỉ số đề mục

29.19.31

Lĩnh vực nghiên cứu

Vật lý

Dạng tài liệu

Tác giả

Lê Trấn, Trần Văn Phương, Trần Tuấn, Nguyễn Hữu Chí, Đỗ Tiến Duy⁽¹⁾

Nhan đề

Nghiên cứu chế tạo màng TiN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC

Nhan đề tiếng anh

Nguồn trích

Tuyển tập các báo cáo: Hội nghị Vật lý chất rắn toàn quốc lần thứ 5 - Hội Vật lý Việt Nam

Năm xuất bản

2007

Số

Trang

1023-1027

ISSN

Từ khóa

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Tóm tắt tiếng anh

Kí hiệu kho

TTKHCNQG, Vđ 456/2009

File toàn văn

Xem toàn văn