Phương pháp xử lý số liệu từ phổ phản xạ R( ) trong nghiên cứu chế tạo màng mỏng giao thoa

Chỉ số đề mục

29.31.29

Lĩnh vực nghiên cứu

Vật lý

Dạng tài liệu

Tác giả

Hoàng Ngọc Minh, Phạm Thị Việt Anh⁽¹⁾

Nhan đề

Phương pháp xử lý số liệu từ phổ phản xạ R( ) trong nghiên cứu chế tạo màng mỏng giao thoa

Nhan đề tiếng anh

Nguồn trích

TC khoa học kỹ thuật (VKHVN)

Năm xuất bản

1991

Số

7+8

Trang

10-16

ISSN

0866-708X

Từ khóa

Phổ phản xạ, Màng mỏng giao thoa, Hấp thụ, Tán sắc, Hệ màng mỏng nhiều lớp, Màng hấp thụ

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Giới thiệu kết quả ứng dụng PP xử lý số liệu trên cơ sở một hệ đo phản xạ theo nguyên lý khuyếch đại lọc lựa và chương trình tối ưu phi tuyến trên máy vi tính trong chế tạo các hệ màng mỏng giao thoa (như màng giảm phản xạ, kính lọc giao thoa đơn sắc,...). Các PP trình bày trong bài cho phép xác định nhanh chóng tính chất của vật liệu trong trạng thái màng mỏng (như chỉ số phản xạ, độ dày, độ tán sắc, hệ số hấp thụ,...). PP còn cho phép tính toán độ dày từng lớp, xác định hệ số tối ưu cho quá trình bốc bay và xác định độ dày của hệ giao thoa nhiều lớp

Tóm tắt tiếng anh

Kí hiệu kho

TTTTKHCNQG

File toàn văn

Xem toàn văn