Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Oxit Er2O3 bằng phương pháp MOCVD từ tiền chất Er(acac)3.phen

Chỉ số đề mục

61.99

Lĩnh vực nghiên cứu

Kỹ thuật hóa học

Dạng tài liệu

Tác giả

Triệu Thị Nguyệt⁽¹⁾, Huỳnh Thị Miền Trung

Nhan đề

Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Oxit Er2O3 bằng phương pháp MOCVD từ tiền chất Er(acac)3.phen

Nhan đề tiếng anh

Investigation on preparing Er2O3 oxide thin film upon metal-organic chemical vapor deposition method with Er(acac)3-phen as precursor

Nguồn trích

Tạp chí Hóa học

Năm xuất bản

2011

Số

3

Trang

278-281

ISSN

0866-7144

Từ khóa

Màng Oxit Er2O3, Công nghệ chế tạo, Phương pháp MOCVD, Tiền chất Er(acac)3.phen, Nghiên cứu

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Tóm tắt tiếng anh

In this paper. the authors report the structural and morphological properties or Er2O3 thin film grown on glass via metalorganic chemical vapor deposition method by making use Er(acac)3 phen as the precusor. Some characterations of asdeposited and after-annealed films have been investigated by XRD and SEM methods. The obtained results shown that film annealed at 450oC is crystal lined with cubic phase and partical gains were calculated to be around 10 nm by the scherrer equation.

Kí hiệu kho

TTKHCNQG, CVv14

File toàn văn

Xem toàn văn