Thiết kế cảm biến gia tốc vi cơ điện tử chế tạo trên vật liệu silic

Chỉ số đề mục

50.09.37

Lĩnh vực nghiên cứu

Người máy và điều khiển tự động

Dạng tài liệu

Tác giả

Trần Đức Tân, Hà Thị Hòa⁽¹⁾

Nhan đề

Thiết kế cảm biến gia tốc vi cơ điện tử chế tạo trên vật liệu silic

Nhan đề tiếng anh

Nguồn trích

Tự động hóa ngày nay

Năm xuất bản

2006

Số

1

Trang

62-63

ISSN

1859-0551

Từ khóa

Cảm biến gia tốc, Cảm biến vi cơ điện tử, Vật liệu silic

Từ khóa tiếng anh

Tóm tắt

Công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) đã và đang tạo ra những thay đổi mang tính cách mạng trong chế tạo linh kiện biến năng kích thước micrô được ứng dụng trong các lĩnh vực truyền thông, điện tử dân dụng.... Bài viết trình bày kết quả mô phỏng, thiết kế một cấu trúc cảm biến gia tốc kiểu tụ đặc biệt, được chế tạo trên vật liệu silic.

Tóm tắt tiếng anh

Kí hiệu kho

TTKHCNQG, CVv 227

File toàn văn

Xem toàn văn